概述：

空氣分子污染物(AMC)對于高科技生產過程是關鍵性因素，特別是微電子行業，有機污染物是生產過程中的消極因素，會導致高科技公司因產品質量問題而產生的成本增加。

無空氣分子污染物生產是理想的生產目標，通過污染物源頭控制、傳播控制，實時監控污染物濃度并結合多級過濾器以及新風系統來實現，持久監測AMC濃度，有助于掌握污染物源頭、穩定生產、預防過濾器突發性壽命減少等。

阿瑞斯-μVOC提供給客戶一個實時快捷持續的在線空氣分子污染物AMC監測方案，不需要采樣，離線測量。

檢測限達到sub-ppb級

潔凈室環境中的空氣分子污染物AMC，內部來自建筑材料釋出、設備和材料釋出、腐蝕和光刻等工藝過程中化學藥品逸散、人員產生、管路泄露、設備維護修理時散發等，外部來自環境空氣中存在的氣相污染物,以及潔凈室的廢氣排放重新送回潔凈室。

一旦AMC空氣分子污染物超標會引起一系列嚴重后果，比如晶圓廢棄、停產、重新凈化潔凈室等。

可測組份

亮點

一般特點：

• 在線連續質量監測全部自動化系統

• 低濃度VOC監測

• 獨立分開測量有機物成份

• Sub-ppb檢測限

• 集成計算機和控制軟件以及數據采集與處理功能

應用

• 潔凈間污染物監測

• 過濾器狀態監測

• 加工過程全組份測量診斷污染物