久草干-久草精彩视频-久草精品视频-久草精品在线-久草久热-久草免费在线

咨詢熱線
18518707030
ARTICLE/ 技術(shù)文章
首頁  >  技術(shù)文章  >  AMC空氣分析適用于苛刻的半導(dǎo)體微量氣體應(yīng)用

AMC空氣分析適用于苛刻的半導(dǎo)體微量氣體應(yīng)用

更新時間:2022-10-19瀏覽:1422次
  對多種氣體的快速監(jiān)測、報警、極低濃度的測量、寬廣的測量區(qū)域、高靈敏的響應(yīng)是半導(dǎo)體工業(yè)的要求之一。深紫外光刻工藝特別關(guān)注氨、胺、N-甲基吡咯烷酮NMP、酸等的濃度測量。當(dāng)這些氣體與化學(xué)放大的光刻膠發(fā)生反應(yīng)時,半導(dǎo)體器件的質(zhì)量將受到深刻影響。傳統(tǒng)和古老的方法大多采用間接測量和分析方法。這些方法包括沖擊過濾法、離子色譜法和化學(xué)熒光法,這些方法分析速度太慢,操作太復(fù)雜,價格昂貴,測量結(jié)果不準(zhǔn)確。
  
  AMC空氣分析證明,深紫外光刻工藝深受多種微污染物的影響,對許多微污染物特別敏感,如氨氣或酸性氣體,會對半導(dǎo)體生產(chǎn)帶來危害。雖然隨著深紫外耐腐蝕材料技術(shù)的發(fā)展,長期連續(xù)的實時監(jiān)測已經(jīng)減少,事實上,空氣分子污染物(AMC)的實時測量對產(chǎn)品的質(zhì)量非常重要。
 
  

AMC空氣分析
 

 

  AMC空氣分析監(jiān)測還集成了一個多點監(jiān)測系統(tǒng),可以將氣體依次抽到分析儀或傳感器上,并讀出測量結(jié)果。嵌入式報警、報告和分析軟件由在半導(dǎo)體行業(yè)有多年經(jīng)驗的工程師集體開發(fā)。模擬模塊可以輸出4-6臺分析儀或傳感器的數(shù)據(jù)。每臺分析儀都配備了一臺內(nèi)置計算機(jī),可以存儲和輸出數(shù)據(jù)。它還支持遠(yuǎn)程網(wǎng)絡(luò)控制,遠(yuǎn)程操作可以實現(xiàn)多層次的管理權(quán)限控制和操作。
  
  AMC空氣分析儀基于CEAS(腔體增強吸收光譜)技術(shù),儀器使用簡單,操作方便。所有部件(包括內(nèi)置真空泵、鍵盤、鼠標(biāo)、顯示器等)在幾分鐘內(nèi)就可以開始記錄數(shù)據(jù)。其他大氣中的水蒸氣、CO2、O2、甲烷等不會對HCL、HF、NH3等造成交叉干擾。內(nèi)置計算機(jī)可將大量數(shù)據(jù)存儲到內(nèi)置硬盤,通過數(shù)字接口或模擬接口傳輸數(shù)據(jù),通過互聯(lián)網(wǎng)遠(yuǎn)程存儲或記錄數(shù)據(jù),高質(zhì)量的數(shù)據(jù)庫適用于苛刻的半導(dǎo)體微量氣體應(yīng)用。
主站蜘蛛池模板: 国产极品白嫩精品| 亚洲久久久久久中文字幕| 亚洲精品午夜一区人人爽| 国产精品综合色区小说| 狼人亚洲国内精品自在线| 青青视频精品观看视频| 四虎永久在线精品免费一区二| 亚洲女同成av人片在线观看| 亚洲一区二区三区视频免费看| 少妇粗大进出白浆嘿嘿视频| 亚洲 日韩 激情 无码 中出| 亚洲精品揄拍自拍首页一| 无码av一区二区三区不卡| 午夜成人亚洲理论片在线观看| 亚洲国产欧美一区| 亚洲精品国自产拍在线观看| 亚洲精品国产成人| 亚洲精品久久久久avwww潮水| 水蜜桃无码av在线观看| 女人黄片一区二区| 男女性高爱潮免费观看| 黑人玩弄漂亮少妇高潮大叫| 国语自产精品视频在 视频| 免费国产在线精品一区| 蜜桃少妇av久久久久久久| 久久综合色_综合色88| 国产一区二区不卡在线播放| 国产在线无码制服丝袜无码| 东京热人妻一区二区三区| 东京热无码人妻一区二区av| 99精品视频在线观看| 国产精品久久无码不卡黑寡妇| 日本japanese漂亮丰满| 天天躁日日摸久久久精品| 大ji巴好深好爽又大又粗视频| 亚洲人成网77777色在线播放| 十八禁视频在线观看免费无码无遮挡骂过| 老子影院午夜精品无码| 中文字幕人成无码人妻| 性xxxx欧美老妇胖老太性多毛| 色综合av综合无码综合网站|